- Device
- Technische Universität Darmstadt
µMLA Heidelberg Instruments
- Materialwissenschaften
- Structuring and Processing of Materials
- Gerätetyp
- Belichter
- Gerätebezeichnung
- µMLA Heidelberg Instruments
- Geräteausführung
- Direct Exposure System
Gerätebeschreibung
Maskenloses Tischgerät für Laserlithographie bis zu 6“ Wafer.
Einsatzbereich
Rapid prototyping, Schreiben kleiner Masken, z.B. für Mikro-Optik, MEMS, fan-out Elektroden, Sensoren.
