- Device
- Technische Universität Darmstadt
Moorfield MiniLab25
- Materialwissenschaften
- Structuring and Processing of Materials
- Gerätetyp
- Sputteranlage
- Gerätebezeichnung
- Moorfield MiniLab25
- Geräteausführung
- Sputtering System for Wafers
Gerätebeschreibung
Sputtering und PVD von 2“ und 4“ Wafers; CrNi; Cr; Cu; Au; Ti.
Einsatzbereich
Fabrikation von MEMS, Sensoren, Micro-Heizelementen.
