- Device
- Technische Universität Darmstadt
MOT semicon
- Materialwissenschaften
- Structuring and Processing of Materials
- Gerätetyp
- Galvanikanlage
- Gerätebezeichnung
- MOT semicon
- Geräteausführung
- Electroplating System for Wafers
Gerätebeschreibung
Nickel- & Kupfergalvanik für 4’’ Wafer; Nickelsulfamat und saure Kupferbäder; 1 µm/min @ 5A/dm²; Strom bis 10 A; Pulse Plating.
Einsatzbereich
MEMS-Herstellung.
