- Device
- Technische Universität Darmstadt
Balzers BAK 600 (PVD)
- Materialwissenschaften
- Structuring and Processing of Materials
- Gerätetyp
- Aufdampfanlage
- Gerätebezeichnung
- Balzers BAK 600 (PVD)
- Geräteausführung
- Metal Vapor Deposition System
Gerätebeschreibung
Bedampfungsanlage zur Abscheidung folgender Metalle: Cr, Au, Ni, Al, Cu, Ti; 11x 4“-Wafer.
Einsatzbereich
Metallisierung von 4"-Wafern, Aufbringen von Schichtsystemen.
