- Device
- Goethe-Universität Frankfurt
FEI Nova NanoLab 600 DualBeam FIB/SEM
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- Electron Microscopy
- Gerätetyp
- Elektronenmikroskop
- Gerätebezeichnung
- FEI Nova NanoLab 600 DualBeam FIB/SEM
- Geräteausführung
- Scanning Electron Microscope
Gerätebeschreibung
Das FEI Nova NanoLab 600 ist ein DualBeam-FIB-SEM-System mit einer Schottky-Feldemissionskanone (FEG) für SEM und einer Gallium-Flüssigmetall-Ionenquelle (LMIS) für FIB. Zu den wichtigsten Spezifikationen gehören eine SEM-Auflösung von 1,1 nm bei 15 kV, ein Spannungsbereich von 200 V bis 30 kV, ein Strahlstrom von bis zu 20 nA, eine FIB-Auflösung von 10 nm, ein Spannungsbereich von 500 V bis 30 kV und ein Strahlstrom von 1 pA bis 21 nA. Besondere Merkmale sind ein selbstgebautes Gasinjektionssystem für nicht-kommerzielle Vorläuferquellen, spezielle Probenhalter und integrierte Elektronik für die In-situ-Charakterisierung der vorbereiteten wissenschaftlichen Proben.
Einsatzbereich
Das FEI Nova NanoLab 600 wird sowohl für die fortgeschrittene Bildgebung als auch für die Fertigung im Nanomaßstab eingesetzt. Insbesondere: Abscheidung von FEBID/FIBID-Nanostrukturen (Isolatoren, Metalle, Ferromagnetika, Supraleiter), RT-In-situ-Messungen des elektrischen Transports, TEM-Lamellenpräparation.
