- Device
- Technische Universität Darmstadt
Leybold-Heraeus
- Materialwissenschaften
- Structuring and Processing of Materials
- Gerätetyp
- Aufdampfanlage
- Gerätebezeichnung
- Leybold-Heraeus
- Geräteausführung
- E-Beam and Thermal Vapor Deposition System
Gerätebeschreibung
E-Beam und thermische Aufdampfanlage.
Einsatzbereich
Thermisches Aufdampfen von Au und Ge. Aufdampfen mit E-beam von Ni, Ti, Al, Pd und anderen Metallen. Auch das Aufdampfen unter einem Winkel ist möglich.
