- Device
- Technische Universität Darmstadt
Logitech PM5
- Materialwissenschaften
- Structuring and Processing of Materials
- Gerätetyp
- Poliermachine
- Gerätebezeichnung
- Logitech PM5
- Geräteausführung
- Wafer Polishing System
Gerätebeschreibung
Mechanisches Polieren von 4“ Wafern mit Planarität unter 100 nm.
Einsatzbereich
MEMS-Herstellung.
