- Device
- Technische Universität Darmstadt
Mask Aligner Karl Süss MA 56
- Materialwissenschaften
- Structuring and Processing of Materials
- Gerätetyp
- Belichter
- Gerätebezeichnung
- Mask Aligner Karl Süss MA 56
- Geräteausführung
- UV Exposure System
Gerätebeschreibung
UV-Belichter mit Quecksilberdampflampe und g-line and i-Line Filter (365nm), Maximale Belichtungsgröße sind 4“.
Einsatzbereich
Belichtung von Photolacken mit Masken zur Strukturierung von Substraten bis zu einer Größe von 4“.
