- Device
- Technische Universität Darmstadt
Mask Aligner Karl Süss MJB3
- Materialwissenschaften
- Structuring and Processing of Materials
- Gerätetyp
- Belichter
- Gerätebezeichnung
- Mask Aligner Karl Süss MJB3
- Geräteausführung
- UV Exposure System
Gerätebeschreibung
UV-Belichter mit Quecksilberdampflampe und i-Line Filter (365nm), Maximale Belichtungsgröße sind 3“.
Einsatzbereich
Belichtung von Photolacken mit Masken zur Strukturierung von Substraten bis zu einer Größe von 3“.
Core Facility
ETIT Clean Room Facilities
Project Status
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