- Device
- Technische Universität Darmstadt
Oxford Instruments Plasmalab 80Plus
- Materialwissenschaften
- Structuring and Processing of Materials
- Gerätetyp
- Anlage für reaktives Ionenätzen
- Gerätebezeichnung
- Oxford Instruments Plasmalab 80Plus
Gerätebeschreibung
RIE Plasmaanlage mit Ar, CHF₃, CF₄, O₂, SF₆, N₂.
Einsatzbereich
Durchführung von Plasmaprozessen zum Ätzen oder Reinigen mit den vorgenannten Prozessgasen.
