- Device
- Technical University of Darmstadt
Oxford Instruments Plasmalab 80Plus
- Materials Science
- Structuring and Processing of Materials
- Device Type
- Reactive Ion Etching System
- Device Name
- Oxford Instruments Plasmalab 80Plus
Device Description
RIE plasma system with Ar, CHF₃, CF₄, O₂, SF₆, N₂.
Device Application
Durchführung von Plasmaprozessen zum Ätzen oder Reinigen mit den vorgenannten Prozessgasen.
Core Facility
ETIT Clean Room Facilities
Project Status
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