- Device
- Technische Universität Darmstadt
R3T Muegg STP 2020
- Materialwissenschaften
- Structuring and Processing of Materials
- Gerätetyp
- Verascher
- Gerätebezeichnung
- R3T Muegg STP 2020
- Geräteausführung
- Plasma Asher
Gerätebeschreibung
Polymerverascher zum Entfernen von SU8 und BCB; Verfügbare Gase: O₂, N₂, CF₄; HF-Leistung: 3000 W, 2,45 GHz.
Einsatzbereich
SU8 Strukturen, Aktivierung, Stripping; 5 Plätze für 6"-Substrate
